1. 随着科学研究和工业生产不断深入纳米领域,对于显微技术和仪器的要求变得更加苛刻,市场需求持续增长。
2. 光学显微镜因其经济实惠和操作简便而受到青睐,然而受限于可见光的波长,其最大放大倍数仅能达到约1000倍。
3. 传统的大型扫描电子显微镜(sem)能够提供数万倍的放大倍数,具备出色的景深,是材料科学和生物科学等领域不可或缺的表征工具。
4. 尽管如此,SEM的投资成本高昂,且需要经过专业培训的的操作人员,使用起来不够便捷。
5. 为了克服这些局限,美国FEI公司在2004年提出了台式扫描电子显微镜(TESEM)的概念。
6. 与传统的大型SEM不同,台式扫描电镜代表了一种革命性的设计,它融合了光学显微镜和传统SEM的优势。
7. 台式扫描电镜不仅提供了扫描电镜的高放大倍数和大景深,还具备体积小、操作简便的特点,其价格仅需传统电镜的几分之一,甚至接近高端光学显微镜的价格。
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